以DBE为溶剂非水解溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的研究

• 作者: 冯果 刘健敏 吴倩 张权 李聪 江伟辉 苗立锋
• 来源期刊: 中国陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 硅酸锆 薄膜 非水解溶胶-凝胶法 溶剂 DBE
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.75+8|O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2018.02.003

摘要

以四氯化锆为锆源、正硅酸乙酯为硅源,DBE为溶剂,采用非水解溶胶-凝胶法在单晶硅基片表面制备硅酸锆薄膜.运用TG-DTA、XRD、FE-SEM和SEM等研究了凝胶热处理过程中的相转变和薄膜的抗NaOH溶液腐蚀性能.结果表明:凝胶在650℃形成t-ZrO2相,t-ZrO2相和无定形氧化硅于800℃反应合成硅酸锆,经900℃热处理可以在单晶硅基片上制备均匀、致密、无缺陷的硅酸锆薄膜.所制的硅酸锆薄膜可以有效地保护单晶硅基片免受NaOH溶液腐蚀,具备良好的抗腐蚀性能.