闭环电流检测模块中Z轴TMR传感器的研制

• 作者: 庞振江 王于波 王峥 王海宝 郭彦 郭海平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: TMR传感器 垂直灵敏 聚磁结构 有限元分析 电流传感器
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 207-212
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.02.009

摘要

阐述了灵敏方向垂直于芯片表面的Z轴TMR传感器的设计方法,并通过溅射镀膜及刻蚀工艺,在芯片表面电镀厚度、宽度、间距分别为为10 μm、10 μm、15 μm的NiFe聚磁层,研制出了Z轴灵敏的TMR传感器.通过实际测试,该方法制备的传感器在电源电压为5 V时,灵敏度达到了5 mV/Oe,证明了该设计方法的正确性.利用所研制的Z轴TMR传感器,构建了闭环电流检测模块,电流测量范围为0~100 A,测量误差小于0.3%.