AZO透明导电膜的光电性能研究

• 作者: 余云鹏 张汉焱 徐从康 林钢 王宇 王江涌
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 物理学
• 关键词: ZNO 掺杂 溅射 方阻 透过率
• 年，卷（期）: clkx_2018,（4）
• 页码范围: 401-411
• 页数: 11页
• 分类号: O48

摘要

本文采用射频磁控溅射法在玻璃衬底表面制备了Al2O3掺杂的ZnO薄膜(AZO膜),使用四探针薄膜方阻仪、XRD和分光光度计对AZO薄膜光电性能进行了表征分析。研究了制备参数和退火条件对AZO薄膜光电性能的影响,获得了制备高透过率(90%)和低方阻(15 Ω/□) AZO薄膜最佳工艺参数。