不同钝化结构对非极性AlGaN-MSM紫外探测器性能的提升

• 作者: 张玉强 梁征 石璐珊 贾辉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钝化 非极性AlGaN MSM 紫外探测器
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 997-1001
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 3021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183907.0997

摘要

在r面蓝宝石衬底上,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法高温生长了未掺杂非极性AlGaN半导体薄膜,在此基础上制备了金属-半导体-金属(MSM)结构的紫外探测器.系统研究了在AlGaN半导体薄膜表面分别磁控溅射SiO2纳米颗粒与SiO2钝化层两种钝化手段对非极性AlGaN-MSM结构的紫外探测器性能的影响.实验结果表明:磁控溅射SiO2纳米颗粒钝化或SiO2钝化层两种手段都能提升AlGaN-MSM结构紫外探测器性能.暗电流测试表明,SiO2纳米颗粒和SiO2钝化层可使器件暗电流下降1～2个数量级,达到nA量级.光谱响应测试发现,在5 V偏压下,探测器在300 nm处具有陡峭的截止边,这表明其具有很好的深紫外特性,光谱响应提高了103倍,紫外可见抑制比高达105.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉强	公安海警学院基础部	12	9	2.0	2.0
2	贾辉	公安海警学院基础部	11	15	3.0	3.0
3	石璐珊	宁波科技信息研究院研究中心	2	2	1.0	1.0
4	梁征	公安海警学院基础部	11	10	2.0	2.0