四极质谱仪在微波真空电子器件中的应用

• 作者: 梁田 范亚松 董笑瑜
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波真空电子器件 超高真空获得技术 四极质谱仪 放气特性
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 61-65,69
• 页数: 6页
• 分类号: TN107
• 字数: 2327字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.06.13

摘要

微波真空电子器件广泛应用于军用雷达、卫星通信、导航、探测等领域.随着技术的发展,对微波器件不断提出更高的要求,尤其是长寿命、高可靠要求,这对工艺技术研究和过程控制方面提出了极高的要求,其中超高真空的获得技术是实现器件贮存寿命、工作寿命、可靠性的前提.采用四极质谱仪分析技术,可以对排气工艺的合理性以及零件工艺过程洁净链的效果进行检测,同时对封离前器件内部的残余气体种类进行定性分析和判断,从而实现提高器件可靠性的目的.在本文中,以某大功率行波管为试验对象,结合系统真空度的测试,采用四极质谱仪对其阴极的预处理过程(二极管)以及整管排气过程中的气体进行实时监控,对其放气特性进行了研究与分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范亚松		3	0	0.0	0.0
2	梁田		14	26	2.0	4.0
3	董笑瑜		4	1	1.0	1.0