紫外焦平面探测器读出电路抗辐照加固设计

• 作者: 乔辉 刘福浩 张燕 李向阳 马丁
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外焦平面 读出电路 抗辐照 电离辐照
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 502-505,510
• 页数: 5页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.04.011

摘要

分析了MOS器件的辐照特性及辐照失效机理.基于Global Foundries 0.35μm CMOS工艺,设计了一款320×256抗辐照加固紫外焦平面读出电路.该电路数字部分MOS管采用环形栅和双环保护进行加固,并在读出电路表面交替生长了SiO2-Si3N4复合钝化层.对加固后的读出电路进行了γ辐照试验,并使用示波器实时监测读出电路的输出状态.对比加固前后的读出电路实时辐照状态表明,加固后的读出电路抗辐照性能得到了明显提高,其抗电离辐照总剂量由35 krad(Si)提升至50 krad(Si).