100mm直径低位错密度InSb单晶生长研究

• 作者: 彭志强 柏伟 程波 贺利军 赵超 陈元瑞
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: InSb 100 mm Czochralski 缩颈 籽晶
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 9-12,17
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 字数: 2746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2018.03.002

摘要

InSb是一种重要的中波红外探测器材料.为了满足更大规模、更高质量红外焦平面探测器的发展要求,对100 mm直径低位错密度InSb单晶的生长进行了研究.通过改良生长方法、优化籽晶、改进缩颈工艺、优化热场,最终获得位错密度小于等于100 cm-2、直径大于等于100 mm的大尺寸低位错密度InSb晶体.晶体沿晶棒从头到尾部的位错密度分布均匀,可用率高,能够满足大规模高质量红外焦平面探测器的使用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵超		13	15	2.0	3.0
2	柏伟		7	7	1.0	1.0
3	程波		3	9	1.0	3.0
4	陈元瑞		5	14	2.0	3.0
5	彭志强		3	1	1.0	1.0
6	贺利军		2	1	1.0	1.0