维易科（VEECO）和ALLOS展示行业领先的200MM硅基氮化镓性能推动micro-LED的应用

• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 硅基 MOCVD系统 应用 性能 行业 生产线 技术转移
• 年，卷（期）: bdtxx_2018,（1）
• 页码范围: 8-8
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.23

摘要

Veeco公司和ALLOSSemiconductors（ALLOS）达成了一项战略举措，展示了200mm硅基氮化镓晶圆用于蓝／绿光microLED的生产。维易科和AL—LOS合作将其专有外延技术转移到Propel单晶圆MOCVD系统，从而在现有的硅生产线上实现生产micro-LED。