快速响应贵金属薄膜热电偶的研制

• 作者: 季惠明 谢贵久 谢锋 陈云锋 龚杰洪
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 铂 铂铑 溅射 贵金属 快速响应 热处理 动态响应
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TH811
• 字数: 2627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2018.03.003

摘要

为满足高端武器装备壁面快速测温的需要,研制一种贵金属铂-铂铑快速响应薄膜热电偶.利用离子束溅射沉积钽过渡层、铂-铂铑敏感功能层和氧化铝保护层,以光刻掩膜形成热电偶图形,再采用铂浆烧结引线和釉料封接,制备出热电偶样件,最终对样件进行微观分析、静态标定和动态标定.实验结果表明热电偶的静态温度性能与标准R型热电偶测试曲线吻合度较高,薄膜热电偶的动态响应时间可达到50ms量级,薄膜热电偶在600~1200℃范围精度约0.9%.所研制的快速响应贵金属薄膜热电偶具有快速响应和高精度高温测试等特点,可解决武器装备壁面高温快速测量的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢贵久	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	48	4.0	6.0
3	龚杰洪	中国电子科技集团公司第四十八研究所	8	22	3.0	4.0
5	谢锋	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	5	2.0	2.0
9	陈云锋	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	3	1.0	1.0