我国含氟电子气体发展现状及技术进展

• 作者: 史婉君 张建君 徐娇 潘晋亨 鬲春利
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 含氟电子气体 合成 纯化 分析 包装
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TQ117
• 字数: 5848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2018.03.001

摘要

介绍了我国含氟电子气体发展现状以及技术研究进展.国内含氟电子气体产品在下游应用企业中的接受度较低,与国外发展存在明显差距.研究和开发含氟电子气体的关键技术主要包括合成、纯化、分析和包装等技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建君		40	49	4.0	6.0
2	史婉君		11	19	3.0	4.0
3	鬲春利		8	9	2.0	3.0
4	徐娇		9	2	1.0	1.0
5	潘晋亨		1	0	0.0	0.0