MEMS陀螺仪振动特性分析及性能优化

• 作者: 卢新艳 徐淑静 李博 杨拥军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 振动 正交耦合 标度因数 噪声
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 503-509
• 页数: 7页
• 分类号: V241.5|TH703
• 语种: 中文

摘要

谐振式MEMS陀螺仪在随机振动中会发生性能退化,主要表现形式为噪声增大、零偏变化及标度因数降低.研究了陀螺仪的振动模态,发现当正交耦合和电容不对称时,检测模态及检测同相模态极易被激发.被激发的两种信号会占用有限的C/V检测信道,引起信道饱和,造成标度因数变小,同时还会引起振中噪声变大和零位变化.从加工工艺和MEMS设计两方面提出提高陀螺仪振动性能的方法.优化后陀螺仪振中噪声降为优化前的1/10,振中零位差降为原来的1/5,标度因数降低的现象完全消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博	中国电子科技集团公司第十三研究所	22	45	4.0	5.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	徐淑静	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	56	5.0	6.0
4	卢新艳	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	91	3.0	5.0