薄膜体声波谐振器调频工艺研究

• 作者: 何西良 刘娅 卢丹丹 司美菊 张永川 彭兴文 徐阳 杜波
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 调频 频率分散性 离子束
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 162-164
• 页数: 3页
• 分类号: TN65
• 字数: 1645字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.02.003

摘要

薄膜体声波器件具有体积小及性能高等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场.薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层等声学层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素.该文分析了FBAR调频的必要性、原理及扫描刻蚀的工作方式,研究了调频层薄膜在不同刻蚀功率时对器件频率的影响.通过对FBAR器件进行调频,频率均匀性提高了6.5倍,频率分散性得到显著改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永川	中国电子科技集团公司第二十六研究所	9	15	3.0	3.0
2	徐阳	中国电子科技集团公司第二十六研究所	21	32	3.0	4.0
3	杜波	中国电子科技集团公司第二十六研究所	21	54	4.0	5.0
4	彭兴文	中国电子科技集团公司第二十六研究所	5	4	1.0	2.0
5	刘娅	中国电子科技集团公司第二十六研究所	4	4	1.0	2.0
6	何西良	中国电子科技集团公司第二十六研究所	4	4	1.0	2.0
7	司美菊	中国电子科技集团公司第二十六研究所	7	12	3.0	3.0