BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应

• 作者: 张大鹏 贾乐 高杨
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: BAW滤波器 声-电磁协同仿真 电磁耦合 共地电感
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 127-131
• 页数: 5页
• 分类号: TN713.5|TN702
• 字数: 2015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201830.180006

摘要

针对体声波(BAW)滤波器声-电磁协同仿真结果中滤波器的左传输零点向左偏移的现象,验证仿真中共地电感效应的存在并分析其对滤波器性能的影响.通过分别改变BAW滤波器原始布局中的并联薄膜体声波谐振器(FBAR)P1 和P4 引线到地的位置,即将并联 FBAR P1 和 P4 引线到地的路径分别变短后进行声-电磁协同仿真.结果对比表明:声-电磁协同仿真中并联 FBAR引线到地与输入、输出端口之间存在共地电感效应.将并联 FBAR引线到地的路径变短,滤波器在声-电磁协同仿真中形成的共地电感效应减小,带外抑制性能变好.共地电感效应对于并联 FBAR 谐振区面积越小的支路影响越大.故在 BAW滤波器声-电磁协同仿真中需考虑共地电感效应对滤波器左传输零点和左带外抑制性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	贾乐	西南科技大学信息工程学院	9	12	2.0	2.0
6	张大鹏	西南科技大学信息工程学院	9	7	1.0	1.0