基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作

• 作者: 欧文 焦磊涛 蒋文静
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原位透射电子显微镜(TEM) 微机电系统(MEMS) 低应力氮化硅 液体TEM芯片 铜纳米粒子
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 493-497
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文

摘要

传统透射电子显微镜(TEM)观察液态样品特征时,通常将其先速冻成固态,而原位TEM可以动态地观察液态样品的变化,避免了一些额外因素的影响.设计了一款基于微机电系统(MEMS)技术的非流动原位液体TEM芯片,用于对液态样品结构动态变化的实时观测.采用低压化学气相沉积(LPCVD)法制备50 nm厚的低应力氮化硅薄膜作为芯片的电子束透射窗的材料,并在窗口层上面制作金属网格来加固其承载能力,采用MEMS技术完成了芯片的制造.实验结果表明,TEM芯片在相应的TEM样品杆的辅助下,成功实现了对铜纳米粒子生长过程中形态变化的实时观测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧文	中国科学院微电子研究所	27	81	6.0	7.0
3	焦磊涛	中国科学院微电子研究所	1	0	0.0	0.0
12	蒋文静	中国科学院微电子研究所	2	11	1.0	2.0