三轴高g值加速度传感器的测试技术研究

• 作者: 张英忠 张锦明 陈宏亮 马少杰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 三轴加速度传感器 标定 高g值 侵彻试验 大脉宽
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 175-179
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.02.003

摘要

针对压阻式传感器敏感结构设计的需要,提出一种MEMS三轴高g值加速度传感器敏感结构.对设计的传感器进行Hopkinson杆冲击试验,标定了传感器的灵敏度、线性度和交叉耦合误差参数.对标定的传感器进行了动态侵彻试验,试验结果表明在48000 gn幅值、3 ms脉宽和15000 gn幅值、13 ms脉宽的冲击载荷下,传感器测试的位移误差为6%,性能良好,能够满足大脉宽、高冲击测试的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马少杰	南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室	55	263	10.0	12.0
2	张锦明	南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室	3	6	2.0	2.0
3	陈宏亮	南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室	2	5	2.0	2.0
4	张英忠	南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室	1	2	1.0	1.0