装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响

• 作者: 刘丙才 刘卫国 朱学亮 王大森 田爱玲 赵思伟
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 绝对检测 有限元分析法 装夹自重变形 三平面互检
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 141-147
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184702.0212004

摘要

针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响,运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况,得到了最优的装夹参数为环带宽度15 mm、平面厚度90 mm,此时的变形量峰谷值为0.023λ(λ=632.8 nm).通过参考平面装夹自重变形对测量结果影响的模拟检测试验和对比分析,发现参考平面装夹自重变形不仅影响其自身的面形,而且对未变形大口径平面的绝对面形检测结果也有较大影响,面形残差峰谷值基本都在0.011λ,尤其在高精度干涉测量中该影响不可忽略.研究结果可为高精度测量的变形补偿提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丙才	西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	39	122	7.0	8.0
2	田爱玲	西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	64	392	11.0	16.0
3	朱学亮	西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	10	7	2.0	2.0
4	王大森		7	5	2.0	2.0
5	赵思伟	西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	1	0	0.0	0.0