扫描电镜和电子探针对比测试碲在镍合金中的分布

• 作者: 赵同新
• 来源期刊: 物理测试
• 关键词: 镍基合金 扩散分布 电子探针 扫描电镜 能谱仪 波谱仪
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1001-0777.20170107

摘要

在镍合金表面电镀碲薄膜,在不同温度下对样品进行不同时间的真空热处理,以研究碲元素在镍基合金中的扩散分布情况.使用扫描电镜(SEM)配置能谱仪(EDS)和电子探针(EPMA)分别测试某一热处理工艺条件的试验试样,印证了EPMA在元素较低含量方面测试的独特优势.最后从多方面总结对比了SEM配置EDS和波谱仪(WDS)附件与EPMA的不同特点,说明在微区观察方面,SEM具有较突出的优势,而在微区分析方面,EPMA具有不可替代的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵同新	岛津企业管理(中国)有限公司分析中心	11	23	3.0	4.0