蚀刻补偿工艺在阶梯线路上的应用

• 作者: 李晓蔚
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 阶梯板 阶梯线路 蚀刻补偿
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 新技术新工艺
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TN41
• 字数: 2848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2018.05.004

摘要

本文提出了一种在板面厚度为15 μm/30 μm的阶梯板上制作线路宽度为75 μm的阶梯线路的新型工艺——蚀刻补偿工艺.首先选用板面厚度为15μm的双面覆铜板制作板面厚度为15μm/30 μm阶梯板,进而利用蚀刻补偿工艺在此阶梯板上制作线路宽度为75μm阶梯线路,最后再通过线宽、线路形貌以及蚀刻因子对所制作的阶梯线路进行评价.结果表明,该工艺简单、可靠,可广泛应用于阶梯线路制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓蔚	西安工程大学实验室管理处	2	1	1.0	1.0