钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势

• 作者: 杨康 王爱琴 谢敬佩 郭惠丹 陈艳芳 马窦琴
• 来源期刊: 粉末冶金技术
• 学科: 工学
• 关键词: 钼 钼合金 溅射靶材 研究现状 发展趋势
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 文献综述
• 页码范围: 393-398
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.4
• 字数: 5199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19591/j.cnki.cn11-1974/tf.2018.05.013

摘要

钼及钼合金具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能好及环境友好等优点,利用钼及钼合金加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子电器、太阳能电池及玻璃镀膜等领域.本文介绍了对钼及钼合金溅射靶材的基本要求及制备方法,系统综述了目前国内外对钼、钼钛、钼钠、钼铌合金靶材的研究现状,并对钼及钼合金溅射靶材未来的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马窦琴	河南科技大学材料科学与工程学院	13	21	3.0	4.0
3	陈艳芳	河南科技大学材料科学与工程学院	38	124	6.0	8.0
4	谢敬佩	河南科技大学材料科学与工程学院	215	1519	17.0	25.0
6	王爱琴	河南科技大学材料科学与工程学院	138	1037	17.0	23.0
11	杨康	河南科技大学材料科学与工程学院	3	5	2.0	2.0
12	郭惠丹	河南科技大学材料科学与工程学院	2	3	1.0	1.0