高灵敏度扇面纤毛式MEMS矢量水听器

• 作者: 丁俊文 尚珍珍 张国军 杨晟辉 裴毓
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 压阻传感器 ANSYS 高灵敏度
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 599-603
• 页数: 5页
• 分类号: TN55|TB565.2
• 字数: 2545字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.04.028

摘要

目前微机电系统(MEMS)矢量水听器的研究出现瓶颈.大量实验表明,水听器的灵敏度与探测带宽存在着相互制约关系.为保证水听器具有20～500 Hz的针对远距离船舶辐射噪声的可探测带宽,急需提高MEMS矢量水听器在低频探测的灵敏度.该文在普通纤毛式MEMS矢量水听器的基础上,提出在柱形纤毛上集成十字扇面,通过增大声压接收面积,来提高低频探测的灵敏度.通过ANSYS Workbanch多参优化确定十字扇面的尺寸,通过ANSYS15.0对优化后的尺寸进行验证.利用微机械加工法集成扇面与柱形纤毛,利用水听器校准系统来测试扇面纤毛式矢量水听器的灵敏度,结果表明,灵敏度满足每频程6 dB的增长趋势,在500 Hz时灵敏度达到-183.6 dB(0 dB=1 V/μPa),比普通结构提高了近5 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	尚珍珍	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	11	2.0	2.0
3	丁俊文	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	10	2.0	2.0
4	杨晟辉	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	6	12	2.0	2.0
5	裴毓	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0