退火温度对Co2FeAl薄膜磁与结构特性的影响

• 作者: 庄凤江 徐展 王可 苏少坚 陈传文
• 来源期刊: 磁性材料及器件
• 学科: 工学
• 关键词: Co2FeAl薄膜 溅射功率 退火温度 磁各向异性
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 研究·分析·实验
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TM27|O484.4+3
• 字数: 2389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19594/j.cnki.09.19701.2018.02.003

摘要

用磁控溅射法制备了一系列Co2FeAl合金薄膜,并进行了退火处理.利用振动样品磁强计(VSM)和X射线衍射(XRD)对样品进行表征,研究了溅射功率和退火温度对Co2FeAl薄膜磁与结构特性的影响.高功率下制备的沉积态薄膜就具有强磁性,同时也具有单轴磁各向异性;而对应的低功率下制备的沉积态薄膜则呈现出弱磁性.300 ℃退火后出现单轴磁各向异性;700 ℃退火后,所有薄膜均表现为磁各向同性.随着退火温度的升高,薄膜的矫顽力变大.X 射线衍射分析表明,随着热处理温度升高,薄膜的晶粒尺寸增大,从而导致晶粒间磁耦合作用增强,这与薄膜的磁特性结果相一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄凤江	华侨大学信息科学与工程学院	7	8	2.0	2.0
2	苏少坚	华侨大学信息科学与工程学院	5	8	2.0	2.0
3	陈传文	华侨大学信息科学与工程学院	4	2	1.0	1.0
4	徐展	华侨大学信息科学与工程学院	2	2	1.0	1.0
5	王可	华侨大学信息科学与工程学院	3	2	1.0	1.0