Ti过渡层对NbSe2薄膜润滑-导电性能的影响

• 作者: 刘金玉 张帅拓 徐书生 郝俊英 隋旭东
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: NbSe2薄膜 导电 润滑 Ti过渡层
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 635-644
• 页数: 10页
• 分类号: TH117.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.16078/j.tribology.201800001

摘要

采用射频磁控溅射技术制备了系列金属钛(Ti)为过渡层的NbSe2薄膜,分析了Ti过渡层的厚度对薄膜成分、结构和机械性能的影响,并研究了在大气环境下薄膜的润滑-导电性能.结果表明:改变Ti过渡层的厚度,可实现对薄膜中Se/Nb原子比和结晶度的调控.随着Ti过渡层厚度的增加,薄膜的致密度、膜-基结合强度及力学性能得到了明显改善.同时,NbSe2薄膜维持原有(002)面择优取向,这利于薄膜的侧向滑移,从而提升了薄膜的减摩耐磨性能.然而,过厚的Ti过渡层会导致薄膜中Se/Nb原子比和结晶度下降,致使薄膜中游离金属元素含量升高.Ti过渡层的厚度超过30 nm时,虽然薄膜的结构仍然致密,且导电性能也有所增强,但其减摩耐磨性能却明显减弱.可见,适当厚度的Ti过渡层,才有助于提高NbSe2薄膜的润滑-导电性能.