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摘要:
压电陶瓷作为原子力显微镜系统中的执行器件,能够快速跟踪测量样品的形貌.为提高压电陶瓷驱动器的定位精度与响应速度,根据电压控制型驱动电源的原理,以PA85A高压运放为核心器件,设计了一种高精度动态压电陶瓷驱动电源.分析了影响系统精度与动态性能的因素,采用相位补偿法,提高了系统的稳定性.实验结果表明,该电源具有精度高,动态响应快,稳定性强的特点,能有效用于原子力显微镜系统中.
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文献信息
篇名 基于PA85A的高精度动态压电陶瓷驱动电源设计
来源期刊 压电与声光 学科 工学
关键词 压电陶瓷 电压控制 高压运放 驱动电源 高精度动态
年,卷(期) 2018,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 564-567
页数 4页 分类号 TN384|TM282|TP29
字数 2699字 语种 中文
DOI 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.04.021
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张跃飞 北京工业大学固体微结构与性能研究所 27 73 5.0 6.0
2 范青武 北京工业大学信息学部 26 202 8.0 13.0
4 刘旭东 北京工业大学信息学部 20 119 8.0 10.0
6 张恒 北京工业大学信息学部 5 23 3.0 4.0
14 徐辽 北京工业大学信息学部 3 16 3.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
压电陶瓷
电压控制
高压运放
驱动电源
高精度动态
研究起点
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
压电与声光
双月刊
1004-2474
50-1091/TN
大16开
重庆市南岸区南坪花园路14号
1979
chi
出版文献量(篇)
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