基于PA85A的高精度动态压电陶瓷驱动电源设计

• 作者: 刘旭东 张恒 张跃飞 徐辽 范青武
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 电压控制 高压运放 驱动电源 高精度动态
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 564-567
• 页数: 4页
• 分类号: TN384|TM282|TP29
• 字数: 2699字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.04.021

摘要

压电陶瓷作为原子力显微镜系统中的执行器件,能够快速跟踪测量样品的形貌.为提高压电陶瓷驱动器的定位精度与响应速度,根据电压控制型驱动电源的原理,以PA85A高压运放为核心器件,设计了一种高精度动态压电陶瓷驱动电源.分析了影响系统精度与动态性能的因素,采用相位补偿法,提高了系统的稳定性.实验结果表明,该电源具有精度高,动态响应快,稳定性强的特点,能有效用于原子力显微镜系统中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张跃飞	北京工业大学固体微结构与性能研究所	27	73	5.0	6.0
2	范青武	北京工业大学信息学部	26	202	8.0	13.0
4	刘旭东	北京工业大学信息学部	20	119	8.0	10.0
6	张恒	北京工业大学信息学部	5	23	3.0	4.0
14	徐辽	北京工业大学信息学部	3	16	3.0	3.0