高性能三波长增透介质膜系研制

• 作者: 乔曌 卢忠文 浦云体 邱服民
• 来源期刊: 光散射学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 三波长增透 膜系设计 离子源辅助
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 其它光谱技术及应用
• 页码范围: 271-276
• 页数: 6页
• 分类号: O484.2
• 字数: 3243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13883/j.issn1004-5929.201803012

摘要

本文系统分析了传统单波长增透膜系的缺点,以镀膜材料在紫外、可见和近红外区域折射率数据为基础,通过研究膜系设计理论,优化设计了合适的膜系;通过制造修正挡板,以及优化离子源辅助沉积工艺,找到了能同时满足三波长增透的镀膜工艺,研制的三波长增透介质膜在1053 nm和527 nm处剩余反射小于0.5％,在351 nm处剩余反射小于0.2％,且在空气中放置20天后,膜层温漂很小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱服民		12	85	5.0	9.0
2	卢忠文		1	0	0.0	0.0
3	浦云体		1	0	0.0	0.0
4	乔曌		4	4	1.0	2.0