彩膜不良研磨成功率的分析与研究

• 作者: 庞华山 张文富 毛继禹 王旭 王野
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 彩膜 缺陷 研磨 成功率
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 加工与制造
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN873+.93
• 字数: 1963字
• 语种: 中文

摘要

彩膜基板伴随行业发展,正在向高PPI和窄边框方向发展,产品的成品率直接影响企业的价值回收.一般来讲,彩膜工艺伴随产生的缺陷,主要的修补手段就是研磨,研磨的成功率直接决定修补对于成品率的贡献程度.研究了与研磨成功率相关的因素,并且寻找到了有效的方法,达到最优化的结果,并且展望未来的新技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛继禹		12	10	2.0	3.0
2	王旭		15	17	2.0	3.0
3	王野		11	23	3.0	4.0
4	庞华山		13	21	3.0	4.0
5	张文富		8	4	2.0	2.0