毫米级静电微扑翼驱动器的结构设计、工艺与测试

• 作者: 杨艺 车云龙
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微型飞行器 微机电系统 微驱动器 静电驱动
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 91-95
• 页数: 5页
• 分类号: V279
• 字数: 3879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)01-0091-05

摘要

针对仿昆虫扑翼飞行器核心动力装置——微驱动器的结构特点和研究难点,设计了一种基于静电驱动原理的毫米(mm)级微扑翼驱动器,并针对各个部件研究了整套加工工艺与测试方法.运动优化与升力测试结果表明:微扑翼驱动器(翼展9 mm,重量3 mg)以91 Hz的频率实现了±40°的拍动和±25°的扭转运动,输出1.5 mg的升力,升重较以往静电微扑翼驱动器有大幅提升.研究成果为实现仿昆虫微型飞行器的自主飞行提供了新的方向,并奠定了理论与试验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨艺	北京航空航天大学能源与动力工程学院	4	20	2.0	4.0
2	车云龙	中国科学院电工研究所	2	1	1.0	1.0