集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型光谱模组及其波长定标

• 作者: 于月华 叶捷敏 方家熊 王绪泉 邵秀梅 黄松垒
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱学 InGaAs 焦平面 线性渐变滤光片 波长定标
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 光谱学
• 页码范围: 199-204
• 页数: 6页
• 分类号: TN219
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184705.0530001

摘要

提出一种集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型近红外光谱模组.作为核心分光元件,线性渐变滤光片被紧密耦合在光敏芯片表面.相比于光栅分光方式,模组具有紧凑的光学结构和稳定的光学特性.对此光谱模组进行波长定标实验,并给出了标定准确性评价.实验结果表明,该光谱模组的波长范围为900~1700 nm,波长准确性优于1.3 nm,光谱分辨率小于通道中心波长的1.25%.基于此光谱模组的波长定标方法准确、可行,可以被用于微型近红外仪等在线光谱分析领域.