基于Harris-Hough算法的芯片初始测试点对准方法

• 作者: 刘洪 梅迪 苏中
• 来源期刊: 中国测试
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片测试 Harris角点检测 Hough变换 自动对准
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 测控技术
• 页码范围: 121-125
• 页数: 5页
• 分类号: TP202
• 字数: 4284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2018.09.022

摘要

针对芯片测试设备中的机器视觉系统可以实现芯片自动对准的需求,提出一种基于Harris-Hough算法的芯片初始测试点对准方法.通过Harris角点检测算法获得图像中探针顶端的角点位置,建立图像位置定位基准;通过Hough变换提取芯片初始测试点位置,计算芯片初始测试点和探针顶端之间所需移动距离;在不同光学放大倍率下进行粗、细两步对准,达到所需定位精度要求.该方法经过Matlab编程实现,经测试验证,能够有效获得芯片初始测试点及探针顶端的位置坐标,准确度达到0.3μm.经过距离换算,可以为芯片测试设备的运动控制系统提供移动参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏中	北京信息科技大学高动态导航技术北京市重点实验室	134	546	12.0	18.0
2	刘洪	北京信息科技大学高动态导航技术北京市重点实验室	12	7	2.0	2.0
3	梅迪	北京信息科技大学高动态导航技术北京市重点实验室	2	1	1.0	1.0