双焦点光子筛聚焦特性的精细测量

• 作者: 张军勇 张艳丽 王松贤
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微光器件 光子筛 数字全息 希腊梯子 双焦点
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 190-198
• 页数: 9页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184705.0512003

摘要

利用数字全息测量方法结合变采样间距的衍射传输算法实现双焦点光子筛器件焦距及焦斑的同时精细测量.给出了双焦点光子筛器件及其理论焦斑分布,采用双曝光的离轴全息方法得到了CCD接收面处光场的复振幅分布,基于此光场通过变采样间距的衍射传输算法获得具有较高分辨率的双焦点光子筛的聚焦场特征,与CCD直接测量结果相比,焦斑分辨率提高了10倍,双焦点光子筛的焦距等于自动对焦算法及强度最大值扫描方式分别求得的两段距离之和.实验结果表明测得的双焦距与设计焦距偏差分别为0.53%和0.37%,得到的两个焦斑半值全宽与设计值相比,其偏差分别为2.86%和1.86%.本文提出的测量方法除了应用于光子筛类器件的性能检测以外,还能够广泛应用于其它类衍射透镜聚焦特性的测量与性能分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张艳丽	中国科学院上海光学精密机械研究所	26	123	6.0	11.0
2	张军勇	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	1	1.0	1.0
3	王松贤	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	1	1.0	1.0