熔石英磨削砂轮截面轮廓分析与优化

• 作者: 刘民才 周炼 王健 谢瑞清 陈贤华
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石砂轮 超精密磨削 砂轮截面轮廓 熔石英元件 亚表面缺陷 加工应力
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TG74|TG580
• 字数: 3151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2018.1.0011

摘要

为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生“连续白线”状深缺陷,其深度达22μm.为抑制砂轮边缘位置加工应力集中现象,设计了“中央平直线+两侧边缘圆弧过渡”的复合式截面轮廓,并提出了相应的修整方法.通过砂轮修整实验,验证了该方法的可行性,磨削元件“连续白线”状深缺陷得到明显改善,亚表面缺陷深度小于2.5 μm,实现熔石英元件的低缺陷磨削加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢瑞清	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	19	2.0	4.0
2	王健	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	117	6.0	10.0
3	陈贤华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	83	5.0	9.0
4	周炼	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	6	1.0	2.0
5	刘民才	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	0	0.0	0.0