面向人工耳蜗的柔性生物微电极稳定性研究

• 作者: 刘景全 包步峰 吉博文 杨斌 王明浩 王晓林 郭哲俊 陈翔
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 加速老化 人工耳蜗 柔性电极
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体器件与工艺
• 页码范围: 416-420
• 页数: 5页
• 分类号: TN406
• 语种: 中文
• DOI: 10.13911/j.cnki.1004-3365.170387

摘要

提出了一种面向人工耳蜗的基于聚酰亚胺的柔性微电极阵列.采用薄膜微加工工艺,形成金属-聚酰亚胺-金属三明治结构.为研究器件的长期稳定性,进行了加速老化实验.将器件放置在质量分数为0.9％的生理盐水中,并在恒温97℃下浸泡6个月后,微电极的平均电荷存储能力由10.34 mC/cm2下降到2.44 mC/cm2,1 kHz下的平均阻抗则从3.66 kΩ上升到5.76 kΩ.实验结果表明,微电极的电化学性能没有受到较大影响.根据实验结果,可推算出在人体温度(37℃)的情况下,器件工作寿命可达32年.