QCM传感器性能的有限元仿真分析

• 作者: 王娇杨 王连明
• 来源期刊: 东北师大学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 压电效应 QCM 厚度剪切振动 ANSYS
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 100-104
• 页数: 5页
• 分类号: TN752.2
• 字数: 3086字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16163/j.cnki.22-1123/n.2018.03.018

摘要

由于QCM传感器频率高、振幅小的振动难以观察,无法分析电极对传感器性能的影响.针对这一问题,通过引入了通用有限元分析软件ANSYS,在Workbench平台上建立石英晶片厚度剪切振动模式模型,分析了不同尺寸电极对QCM传感器性能的影响.仿真结果表明:电极直径增加会导致石英晶体的谐振频率下降;电极尺寸过大过小都容易导致寄生模干扰加强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王连明	东北师范大学物理学院	46	372	9.0	18.0
2	王娇杨	东北师范大学物理学院	1	1	1.0	1.0