聚合物光波导45°反射面形成工艺研究

• 作者: 卢立东 肖垣明 赵飞 陈雨
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 45°反射面 互连 前处理 光刻 传输损耗
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 微组装技术 SMT PCB
• 页码范围: 265-268
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2018.05.005

摘要

为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用.基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程.针对聚合物光波导45°反射面制备难题,通过前处理、包层光刻、芯层匀胶和芯层曝光等技术,获得线宽精度高和传输损耗低的光波导结构.通过对该结果测试表明,传输特性满足使用要求,可作为通信的重要手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖垣明	中国电子科技集团公司第五十四研究所	4	13	2.0	3.0
2	赵飞	中国电子科技集团公司第五十四研究所	25	77	5.0	7.0
3	陈雨		2	3	1.0	1.0
4	卢立东	中国电子科技集团公司第五十四研究所	3	5	2.0	2.0