InSb薄膜热导率温度特性及传热机理

• 作者: 孙豪 李奇松 管相宇 黄正兴
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: InSb薄膜 晶态和非晶态 热导率 温度特性
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 519-525
• 页数: 7页
• 分类号: TK124
• 字数: 3976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7511/dllgxb201805012

摘要

InSb薄膜广泛应用于高精度的光电存储、红外探测和红外热成像技术以及超分辨掩膜层技术中.热导率及其温度特性是影响薄膜实际应用的关键因素.采用瞬态热反射方法测试了厚度为70～200 nm的InSb薄膜在非晶态和晶态下热导率,并探讨了其中的传热机理.对于晶态InSb薄膜,热导率为(0.55±0.055)W/(m·K),并且随温度的变化不明显;而非晶态InSb薄膜在温度450 K以下时热导率为(0.37±0.037)W/(m·K).当温度在450 K以上时,由于薄膜从非晶态转化为晶态,其热导率经历了一个突然的升高过程.无论是晶态还是非晶态薄膜样品,热导率与薄膜厚度都没有明显依赖关系.研究结果可以为InSb薄膜的实际应用提供有益的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄正兴	大连理工大学电子信息与电气工程学部	14	68	4.0	8.0
5	孙豪	大连理工大学电子信息与电气工程学部	1	0	0.0	0.0
9	李奇松	中国科学院上海光学精密机械研究所高密度光存储实验室	1	0	0.0	0.0
10	管相宇	大连理工大学电子信息与电气工程学部	1	0	0.0	0.0