不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构与性能的影响

• 作者: 刘婵 张川 李昊 黄美东
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 电弧离子镀 TiN/Ag多层膜 调制周期 微观结构 力学性能 抗菌性能
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 物理与材料科学
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3254字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19638/j.issn1671-1114.20180406

摘要

为研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响,采用电弧离子镀技术在Si(100)、不锈钢和高速钢基底表面沉积TiN/Ag多层膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X线衍射仪(XRD)、XP-2台阶仪、维氏硬度计和摩擦磨损仪研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜表面形貌、微观结构、厚度、显微硬度和摩擦系数的影响,并采用大肠杆菌实验对多层膜的抗菌性能进行研究.结果表明:TiN/Ag多层膜为面心立方结构,膜层由TiN和Ag交替组成,不存在其他杂相,多层膜具有TiN(111)晶面和Ag(111)晶面择优生长;随着调制周期的减小,多层膜表面更加平整、光滑,硬度逐渐增大,最大达到1 150.5 HV,摩擦系数先增大后减小,最小为0.189,抗菌性能逐渐减弱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与材料科学学院	56	185	7.0	10.0
2	李昊	天津师范大学物理与材料科学学院	4	2	1.0	1.0
3	张川	天津师范大学物理与材料科学学院	6	4	1.0	1.0
4	刘婵	天津师范大学物理与材料科学学院	5	2	1.0	1.0