MEMS陀螺仪零偏温度特性分析及性能优化

• 作者: 任臣 卢新艳 徐淑静 李博
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 零偏温度漂移 延时相位 自时钟 锁相环(PLL)
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 588-592
• 页数: 5页
• 分类号: TH703|V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.08.009

摘要

零偏温度漂移是MEMS陀螺仪主要误差源之一,对MEMS陀螺仪零偏温度漂移误差源进行了分析.检测电路中延时相位的漂移是引起MEMS陀螺仪零偏温度漂移的主要原因.自时钟技术基于锁相环原理,将MEMS陀螺仪的驱动频率作为锁相环参考频率.陀螺仪检测电路的系统时钟频率跟随MEMS陀螺仪驱动频率而变化,两者始终保持固定的比例关系,最大限度地消除了延时相位变化.使用自时钟技术,将MEMS陀螺仪零偏温度漂移减小为原来的2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博	中国电子科技集团公司第十三研究所	22	45	4.0	5.0
2	任臣	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	11	2.0	2.0
3	徐淑静	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	56	5.0	6.0
4	卢新艳	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	91	3.0	5.0