基于二氧化硅的微米级线距样片制备

• 作者: 冯亚南 李锁印 梁法国 许晓青 赵琳 韩志国
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 线距样片 图形设计 直线度 均匀性 稳定性 质量参数
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 2687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2018.05.06

摘要

设计了微米级线距样片的图形结构和制作工艺流程,制作了周期尺寸为(1～10)μm的线距样片.以周期尺寸为1μm和10μm的样片为例对样片的直线度、均匀性和稳定性等质量参数进行了考核.结果表明,研制的线距样片尺寸与设计值基本一致,稳定性好,与美国VLSI公司的标准样片进行了结果对比,本文研制的线距样片与VLSI的标准样片质量相当.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁法国	中国电子科技集团公司第十三研究所	54	104	5.0	7.0
2	李锁印	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	40	3.0	5.0
3	韩志国	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	26	3.0	4.0
4	赵琳	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	27	3.0	3.0
5	冯亚南	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	18	2.0	3.0
6	许晓青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	15	2.0	3.0