显微式激光多普勒测振系统的开发与应用

• 作者: 刘志方 刘红魏 宋云峰 宋耀东 李伸朋 杨兴
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 物理学
• 关键词: 显微激光多普勒测振 微机电系统 激光外差干涉 显微缩束 BK传感器
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 机械设计与计算
• 页码范围: 137-139
• 页数: 3页
• 分类号: O329
• 字数: 2408字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种显微式的激光多普勒测振系统.该系统基于激光多普勒测振原理,综合运用激光外差干涉技术和显微缩束技术,结合电路解调功能实现模拟信号的解调,通过数据采集及算法处理,实现振动信号的波形显示及结果分析.通过与BK-4527型传感器的对比试验表明,该显微测振系统可以很好地实现精确测量.同时,该系统可实现对微机电系统的振动测试和位置定位,弥补了传统激光多普勒测振系统无法测量微小物体振动的缺陷,具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋云峰		8	7	2.0	2.0
2	宋耀东		3	5	1.0	2.0
3	杨兴		2	2	1.0	1.0
4	刘志方		2	2	1.0	1.0
5	刘红魏		2	2	1.0	1.0
6	李伸朋		1	1	1.0	1.0