微位移的直射式激光三角法精密测量

• 作者: 吴慎将 范源 郝冬杰
• 来源期刊: 西安工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 三角法 位移传感器 非线性特性
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 信息科学与控制
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2371字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16185/j.jxatu.edu.cn.2018.01.012

摘要

为适应生产中的非接触实时测量要求,基于直射式激光三角法测量原理和光路结构,提出了微位移直射式激光三角精确测量方法.使用位移传感器(Position Sensors Detector, PSD)来采集光点位置信息,通过电流/电压转换电路、放大电路、滤波电路和 A/D模数转换电路,实现了模拟信号到数字信号的转化和测距系统误差的校正.结果表明:测量距离为10~100 mm时,全量程范围内测量误差小于3%;测量误差来源于系统中电子元器件的非线性特性、安装调试干扰、测量标定误差以及环境温度干扰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴慎将	西安工业大学光电工程学院	47	138	7.0	9.0
2	郝冬杰	西安工业大学光电工程学院	5	30	4.0	5.0
3	范源	西安工业大学光电工程学院	6	37	4.0	6.0