飞秒激光加工单晶金刚石锥形阵列的试验研究

• 作者: 周聪 殷赳 熊彪 胡搒 陈根余
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光烧蚀 飞秒激光 单晶金刚石 锥形阵列
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 270-277
• 页数: 8页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20183802.270

摘要

针对单晶金刚石加工难的问题,采用脉宽为250 fs的飞秒激光器,开展了不同工艺参数下的单晶金刚石晶体飞秒激光烧蚀试验研究,同时采用超景深显微镜检测单晶金刚石烧蚀的宽度、深度及表面质量,研究了激光平均功率、光斑重叠率和扫描次数对单晶金刚石烧蚀深度、宽度及表面质量的影响.结果表明,飞秒激光成型烧蚀加工单晶金刚石时,当采用激光平均功率为11.1W,光斑重叠率为61.9％,循环扫描次数为100次作为最佳工艺参数组合时,能够获得具有较高表面质量的最大烧蚀效率,通过激光分层成型烧蚀,在单晶金刚石片上加工出大小、突出高度和排布方式可以精确控制的锥形阵列,制造出无需结合剂的高品质端面金刚石砂轮.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈根余		113	886	15.0	25.0
2	周聪		31	110	7.0	10.0
3	熊彪		7	0	0.0	0.0
4	殷赳		4	0	0.0	0.0
5	胡搒		2	0	0.0	0.0