倾斜溅射对CoFeB薄膜条纹磁畴结构与磁各向异性的影响

• 作者: 刘青芳 李润伟 李金财 王保敏 詹清峰 马晓琴
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CoFeB薄膜 条纹磁畴 铁磁共振 倾斜溅射 转动磁各向异性
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 页码范围: 1281-1288
• 页数: 8页
• 分类号: O469
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2017.00492

摘要

利用倾斜溅射的方法制备了非晶CoFeB磁性薄膜,研究了倾斜溅射对非晶CoFeB磁性薄膜条纹磁畴结构、面内静态磁各向异性、面内转动磁各向异性、垂直磁各向异性的影响规律.结果表明,倾斜溅射可以有效地降低CoFeB非晶薄膜条纹磁畴结构出现的临界厚度,无倾斜溅射时,CoFeB薄膜出现条纹磁畴结构的临界厚度大于240 nm,倾斜溅射时,出现条纹磁畴结构的临界厚度小于240nm.磁性测试结果表明,对于具有条纹磁畴结构的CoFeB薄膜,倾斜溅射不仅可以提高磁性薄膜的面内静态磁各向异性的强度,同时还可以增强面内转动磁各向异性与垂直磁各向异性的强度.随着倾斜溅射角度的逐渐增大,磁各向异性的强度均呈现增大的趋势.XRD和TEM观测结果证明,CoFeB薄膜趋于非晶结构,同时,SEM观察结果表明,CoFeB薄膜虽然不存在长程有序的晶体结构,但依然可以形成柱状结构,由于倾斜溅射技术,形成的柱状结构呈倾斜状态,从而增强了薄膜的垂直磁各向异性,导致条纹磁畴结构的出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	詹清峰		2	3	1.0	1.0
2	刘青芳		9	31	3.0	5.0
3	马晓琴		1	0	0.0	0.0
4	李金财		1	0	0.0	0.0
5	王保敏		1	0	0.0	0.0
6	李润伟		1	0	0.0	0.0