二氯二氢硅对多晶硅生产的影响

• 作者: 周万礼 张健雄 王金 马启坤
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅生产 二氯二氢硅 影响 控制
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 25-26
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2984字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2018.01.014

摘要

二氯二氢硅是多晶硅生产中产生的主要副产物,其长期富集在生产系统会对质量、安全及系统稳定运行造成影响.通过分析二氯二氢硅的来源,并综合现有生产工艺特点,实现生产系统中二氯二氢硅的有效控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马启坤		2	4	1.0	2.0
3	王金		2	0	0.0	0.0
5	周万礼		1	0	0.0	0.0
13	张健雄		2	0	0.0	0.0