石英真空计及其应用

• 作者: 唐振松 张云峰 王逊
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 石英真空计 石英晶振 谐振阻抗
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TB772+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.04.09

摘要

石英真空计测量范围是10-1Pa-105Pa.石英真空计的优点是传感器体积小,耗电功率小,精度较高,量程较宽,因而它将会有广泛的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王逊	北京大学电子学系	9	39	4.0	6.0
2	张云峰	北京大学电子学系	9	31	4.0	5.0
3	唐振松	北京大学电子学系	1	1	1.0	1.0