集成电路厂房动力站系统设计

• 作者: 李元昊 杨乐辉 武晔秋
• 来源期刊: 制冷与空调（四川）
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路厂房 动力站系统 设计 设备选择
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 工程运用
• 页码范围: 141-144
• 页数: 4页
• 分类号: TU27
• 字数: 3350字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6612.2018.02.008

摘要

针对集成电路厂房生产工艺特点,介绍了其动力站冷冻水系统、压缩空气系统、空分制氮系统、热水系统、纯水系统及事故通风系统设计及设备选择.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨乐辉		2	2	1.0	1.0
2	李元昊		3	2	1.0	1.0
3	武晔秋	山西大同大学建筑与测绘工程学院	2	0	0.0	0.0