大口径非球面系统的共基准加工与检验

• 作者: 张学军 王孝坤 薛栋林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 光学检测 非球面 三镜消像散系统 共基准 离子束加工
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 743-748
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.2|O436.1
• 字数: 1278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182604.0743

摘要

针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究.当光学系统的主镜和第三镜面形的RM S值优于λ/10(λ=632.8 nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装调和测试,并进行背板一体化装嵌,然后利用离子束对其进行一体化共基准加工.结合工程实例,对一大口径非球面系统口径为724 mm×247 mm的非球面主镜和口径为632 mm×205 mm的第三镜进行了共基准加工与检测,最终利用离子束共基准一体化精抛光得到主镜和第三镜面形的RM S值分别为0.019λ和0.017λ,满足光学成像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	124	1634	25.0	33.0
2	王孝坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	29	222	10.0	14.0
3	薛栋林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	29	237	7.0	15.0