高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真

• 作者: 曹民 李阳 胡秀娟
• 来源期刊: 数据通信
• 关键词: MEMS传感器 人工智能 数据分析 高灵敏度
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 28-30,33
• 页数: 4页
• 字数: 1618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5057.2018.01.007

摘要

针对人工智能领域,研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求,设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器.相比于其他传感器,微机电压力传感器尺寸更小,灵敏度更高.传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路,电桥的输出电压与应力大小呈线性关系,输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低.通过ANSYS软件建模仿真来研究压敏薄膜的尺寸,材料与结构,找出薄膜参数与传感器灵敏度的数据关系,借助数据分析得出最优的设计选择.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹民	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	18	17	2.0	3.0
2	李阳	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	11	36	3.0	6.0
3	胡秀娟	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	2	6	1.0	2.0