超高真空系统中冷漏的判断及消除方法

• 作者: 刘俊男 薛松 陈明
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 冷漏 超高真空 四极质谱 氦质谱检漏
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TB774
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.04.07

摘要

冷漏对于超高真空系统的影响不容忽视,文中介绍了上海光源液氮冷却双晶单色器真空系统中的冷漏问题以及用四极质谱计在线判断真空泄漏的过程,并在常温下用氦质谱检漏仪对漏点进行了确定.采用负压模式(vacuum mode)未能检测出漏点,之后采用正压模式(sniffer mode)确定了泄漏的位置为液氮冷却管道的VCR接头,并对该接头的密封垫片进行了更换与紧固,使单色器真空系统恢复了正常运行状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明	中国科学院上海应用物理研究所	53	296	7.0	16.0
2	薛松	中国科学院上海应用物理研究所	49	210	8.0	12.0
3	刘俊男	中国科学院上海应用物理研究所	5	5	1.0	2.0