衍射光栅移相定位检测方法研究

• 作者: 时轮 王池平 王鹤
• 来源期刊: 机电一体化
• 关键词: 超精密检测 光栅衍射 移相检测 光栅干涉 位移测量
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 9-16
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16413/j.cnki.issn.1007-080x.2018.09.002

摘要

在光栅干涉仪传统的定位检测技术的基础上,通过在检测视场中的两条纹之间加入光电传感器的移相运动,改变了信号的接收相位,从而提高光栅干涉仪定位检测技术的定位精度.基于该方法搭建了试验平台并分别进行了PI精密位移台基于传统的光栅检测定位试验和移相检测定位试验.试验结果表明,所提出的超精密定位检测方法能够显著提高PI精密位移台自身的定位精度,并且相较于传统的光栅检测定位方法,其定位精度能够提高70％以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	时轮	上海交通大学制造技术与装备自动化研究所	26	93	7.0	8.0
2	王鹤	上海交通大学制造技术与装备自动化研究所	7	11	2.0	2.0
3	王池平	上海交通大学制造技术与装备自动化研究所	4	5	2.0	2.0