自支撑CVD金刚石膜光学性能与热学性能相关性研究

• 作者: 刘金龙 安康 李成明 贾鑫 闫雄伯 陈良贤 魏俊俊
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体喷射 自支撑金刚石膜 热学性能 光学性能 相互关系
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 专题-等离子体表面处理技术
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.442
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.04.002

摘要

目的 通过等离子体喷射制备不同质量CVD金刚石膜并研究其光学及热学性能,试图建立起两种性能的相互关联性.方法 采用光学显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪和NETZSCH LFA467导热仪检测CVD金刚石膜的表面形貌、晶粒尺寸、结构特征和红外光学性能、热学性能.结果 金刚石自支撑膜的光学性能及热学性能密切相关,本质上取决于氮和非金刚石相的含量.当金刚石膜内氮质量分数大于0.009％时,氮含量是决定光学性能及热学性能的关键因素,且两者随着氮含量的增加呈线性衰减趋势;当氮质量分数小于0.009％时,氮的影响相对较小,晶粒尺寸成为影响金刚石膜热导率的主要因素,此时晶粒尺寸对金刚石膜红外透过率影响较小.此外,金刚石中C—H吸收与非金刚石相含量正相关,其对金刚石光学及热学性能影响规律与N杂质基本一致.结论 CVD金刚石膜的热导率和红外透过率随着金刚石膜的氮杂质含量和C—H吸收系数的降低而逐渐提高,当达到一定程度,红外透过率相对热导率的增加表现出滞后性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏俊俊	北京科技大学新材料技术研究院	32	112	5.0	9.0
2	李成明	北京科技大学新材料技术研究院	71	480	12.0	19.0
3	陈良贤	北京科技大学新材料技术研究院	34	69	4.0	5.0
4	刘金龙	北京科技大学新材料技术研究院	34	82	5.0	7.0
5	闫雄伯	北京科技大学新材料技术研究院	5	8	2.0	2.0
6	安康	北京科技大学新材料技术研究院	5	12	2.0	3.0
7	贾鑫	北京科技大学新材料技术研究院	2	4	1.0	2.0