AZO与ITO薄膜电磁散射特性对比试验研究

• 作者: 刘战合 周鹏 姬金祖 王晓璐 王菁 赵辉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 掺铝氧化锌 氧化铟锡 薄膜 电磁散射 雷达散射截面
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 313-319
• 页数: 7页
• 分类号: TB43|TN011|V218
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.04.10

摘要

基于非平衡磁控溅射技术在浮法玻璃表面沉积了系列掺铝氧化锌(AZO)和氧化铟锡(ITO)薄膜,从电磁隐身角度出发,确定了两种薄膜的电磁散射测试方法和分析方法,并测试了10、15 GHz的HH、VV的极化雷达散射截面(RCS)曲线,以试验数据为基础,研究了方块电阻对两种薄膜电磁散射的影响特性.试验结果表明,AZO与ITO散射曲线具有相似性,AZO散射曲线震荡性更明显;两种薄膜RCS增益随着方块电阻的增大而变小,AZO和ITO的RCS增益曲线均震荡性降低;方块电阻合适时,两种薄膜均可实现座舱玻璃隐身.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵辉	郑州航空工业管理学院航空工程学院	46	142	7.0	10.0
2	姬金祖	北京航空航天大学航空科学与工程学院	49	249	8.0	13.0
3	周鹏	郑州航空工业管理学院电子通信工程学院	25	42	4.0	4.0
4	刘战合	郑州航空工业管理学院航空工程学院	61	69	5.0	6.0
5	王菁	郑州航空工业管理学院航空工程学院	48	62	4.0	6.0
6	王晓璐	郑州航空工业管理学院航空工程学院	47	83	5.0	7.0